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        鋁靶材，鋁是銀白色輕金屬。有延展性。商品常制成棒狀、片狀、箔狀、粉狀、帶狀和絲狀。在潮濕空氣中能形成一層防止金屬腐蝕的氧化膜。鋁粉在空氣中加熱能猛烈燃燒，并發(fā)出眩目的白色火焰。易溶于稀硫酸、硝酸、鹽酸、氫氧化鈉和氫氧化鉀溶液，難溶于水。相對密度2.70。熔點(diǎn)660℃。沸點(diǎn)2327℃。鋁元素在地殼中的含量僅次于氧和硅，居第三位，是地殼中含量豐富的金屬元素。航空、建筑、汽車三大重要工業(yè)的發(fā)展，要求材料特性具有鋁及其合金的獨(dú)特性質(zhì)，這就大大有利于這種新金屬鋁的生產(chǎn)和應(yīng)用。3N8-4N8鋁多用于軋制電解電容器鋁箔、照明燈具和數(shù)據(jù)存儲等。5N-6N超純鋁多用于制造半導(dǎo)體器件、制造光電子存儲媒體、超導(dǎo)電纜穩(wěn)定化材料以及航天飛機(jī)科學(xué)研究中發(fā)揮重要作用。下圖是鋁濺射靶材的顯微金相檢測圖片,平均粒徑<300μm。

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      我們生產(chǎn)高純度的鋁濺射靶材,它大的好處是在物理氣相沉積的過程中，能獲得具有優(yōu)異的導(dǎo)電率和顆粒小化的薄膜。下面的表格是5N的高純鋁濺射靶的成分分析證明書。采用的分析方法:1.使用GDMS 或ICP-OES 對金屬元素進(jìn)行分析；2.使用LECO 進(jìn)行氣體元素分析。