鐵鐵鈷硼靶材是一種重要的磁性材料,主要由鐵(Fe)、鈷(Co)和硼(B)三種元素組成,各元素比例會(huì)根據(jù)具體的應(yīng)用需求有所不同。這種合金靶材結(jié)合了鐵和鈷的優(yōu)良磁學(xué)性能以及硼的特殊化學(xué)性質(zhì),使其在PVD過(guò)程中能夠形成具有優(yōu)異磁學(xué)性能和細(xì)小顆粒的薄膜。
鐵鈷硼靶材制備方法
準(zhǔn)備原料:準(zhǔn)備高純度的鐵(Fe)、鈷(Co)和硼(B)粉末,純度一般要求在 99.9% 以上。
混合粉末:將鐵、鈷和硼粉末按照一定的比例放入球磨機(jī)中進(jìn)行混合,混合時(shí)間一般為幾小時(shí)至十幾小時(shí),以確保粉末充分混合均勻。
壓制成型:將混合好的粉末放入模具中,在一定的壓力下進(jìn)行壓制成型,壓力一般為幾百兆帕至幾千兆帕。
燒結(jié):將壓制成型的靶材放入燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié),燒結(jié)溫度一般為幾百攝氏度至一千多攝氏度,燒結(jié)時(shí)間一般為幾小時(shí)至十幾小時(shí),以確保靶材充分燒結(jié)致密。
加工處理:將燒結(jié)好的靶材進(jìn)行加工處理,如切割、打磨、拋光等,以獲得所需尺寸和表面質(zhì)量的鐵鈷硼靶材。
鐵鈷硼靶材的應(yīng)用領(lǐng)域
磁控濺射領(lǐng)域
鐵鈷硼靶材在磁控濺射方面有廣泛應(yīng)用。在科研實(shí)驗(yàn)中,很多單位會(huì)使用鐵鈷硼靶材進(jìn)行磁控濺射鍍膜操作,通過(guò)磁控濺射技術(shù)可以在基底材料上鍍上鐵鈷硼薄膜,用于制備各種功能性材料或者研究材料的性能等。例如在一些對(duì)磁性薄膜有需求的實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)中,鐵鈷硼靶材是重要的鍍膜材料來(lái)源。
科研領(lǐng)域
作為實(shí)驗(yàn)室耗材,用于各種科學(xué)研究。例如在研究新型合金材料性能、薄膜物理與化學(xué)性質(zhì)等方面,鐵鈷硼靶材不可或缺。不同純度和規(guī)格的靶材可以滿(mǎn)足不同科研項(xiàng)目的需求,有的科研項(xiàng)目可能需要高純度的靶材以減少雜質(zhì)對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果的影響,有的則可能更關(guān)注特定尺寸規(guī)格的靶材來(lái)適配其實(shí)驗(yàn)設(shè)備。