鎢靶材,鎢的化學(xué)元素符號(hào)是W,原子序數(shù)是74,相對(duì)原子質(zhì)量為183.85,原子半徑為137皮米,密度為19.35克/每立方厘米,屬于元素周期表中第六周期(第二長(zhǎng)周期)的VIB族。鎢在自然界主要呈六價(jià)陽(yáng)離子,其離子半徑為0.68×10-10m。由于W6+離子 半徑小,電價(jià)高,極化能力強(qiáng),易形成絡(luò)陰離子,因此鎢主要以絡(luò)陰離子形式[WO4]2-,與溶液中的Fe2+、Mn2+、Ca2+等陽(yáng)離子結(jié)合形成黑鎢礦或白鎢礦沉淀。經(jīng)過(guò)冶煉后的鎢是銀白色有光澤的金屬,熔點(diǎn)極高,硬度很大,蒸氣壓很低,蒸發(fā)速度也較小,化學(xué)性質(zhì)也比較穩(wěn)定。鎢可以制造槍械、火箭推進(jìn)器的噴嘴、切削金屬的刀片、鉆頭、超硬模具、拉絲模等等,用途十分廣泛,合金系狀態(tài)中主要的是合金鋼、純鎢的各種鍛造件用于電子管生產(chǎn)、無(wú)線電電子學(xué)和X射技術(shù)中,化合物主要用于生產(chǎn)某些類型的漆和顏料、油墨、電鍍等方面,也用作催化劑等。下圖是鎢濺射靶材的兩種典型的顯微金相檢測(cè)圖片,平均粒徑<50um。
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我們生產(chǎn)高純度的濺射靶材,它重要的好處是在物理氣相沉積的過(guò)程中,能獲得具有優(yōu)異的導(dǎo)電率和顆粒小化的薄膜。以下表格是3N5高純鎢濺射靶的成分分析證明書。采用的分析方法:1,使用ICP-OES對(duì)金屬元素進(jìn)行分析;2,使用LECO進(jìn)行氣體元素分析。