鈷靶材，鈷是具有光澤的銀灰色金屬，熔點(diǎn)1493℃、比重8.9，比較硬而脆，鈷是鐵磁性的，在硬度、抗拉強(qiáng)度、機(jī)械加工性能、熱力學(xué)性質(zhì)、電化學(xué)行為方面與鐵和鎳相類(lèi)似，加熱到1150℃時(shí)磁性消失。純度為99.9-99.99%的鈷已經(jīng)廣泛應(yīng)用于磁性材料、超級(jí)合金的制造，99.999%甚至更高純度的鈷用來(lái)作為先進(jìn)電子元件的靶材。鑫康制造的高純鈷靶材主要應(yīng)用于磁記錄材料、磁傳感器材料、光電材料等高技術(shù)領(lǐng)域。下圖是鈷濺射靶材的顯微金相檢測(cè)圖片,平均粒徑<100μm。
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我們生產(chǎn)高純度的鈷濺射靶材，它大的優(yōu)點(diǎn)是具有高透磁性，這樣的好處是在物理氣相沉積的過(guò)程中，靶材能順利起弧并開(kāi)始使用。下面的表格是典型的3N5鈷濺射靶的成分分析證明書(shū)。采用的分析方法:1.使用ICP-OES 對(duì)金屬元素進(jìn)行分析； 2.使用LECO 進(jìn)行氣體元素分析。
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