金屬錸（Re）靶材 磁控濺射材料 電子束鍍膜蒸發(fā)料，錸的密度為21.04g/cm3，熔點(diǎn)和沸點(diǎn)分別為3186°C (5767°F，3459K)和5596°C(10105°F，5869K)。錸是一種銀白色的稀有高熔點(diǎn)金屬，其熔點(diǎn)在所有元素中排第三(前兩位為鎢、碳)，沸點(diǎn)居首位，
晶格類型六角密集。外表與鉑同，純錸質(zhì)軟，有良好的機(jī)械性能。溶于稀硝酸或過氧化氫溶液。不溶于鹽酸和氫氟酸中。在高溫下，與硫的蒸氣化合而形成硫化錸ReS2。不與氫、氮作用，但可吸收H2?；蟽r(jià)有3、4、6和7。能被氧化成很安定的七氧化二錸Re2O7，這是錸的特殊性質(zhì)。
我們生產(chǎn)的高純度錸濺射靶材，它重要的好處是在物理氣相沉積的過程中，能獲得具有優(yōu)異的導(dǎo)電率和顆粒小化的薄膜。以下表格是4N以上高純錸濺射靶的成分分析證明書。分析方法：1，使用GDMS對(duì)金屬雜質(zhì)元素進(jìn)行分析；2，使用LECO進(jìn)行氣體元素分析。
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