銥濺射靶材具有與銥金屬相同的特性。銥的熔點高達2466℃，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，在1600℃以上的大氣氣氛中能保持良好的機械性能，并且在高溫下有著很好的抗氧化性，還能承受住強酸、強堿、熔融試劑和高溫硅酸鹽的腐蝕。它是已知的耐腐蝕的金屬，可以抵抗任何酸的侵蝕。盡管僅某些熔融鹽和鹵素會腐蝕固態(tài)銥，但細碎的銥粉塵更具活性，并且易燃。
精煉（三層電解工藝） - 熔化和鑄造（電阻爐-半連續(xù)鑄造）- 晶粒細化(熱機械處理) - 清洗 - 終包裝 - 清潔用于真空
銥濺射靶材的應(yīng)用
銥濺射靶材用于薄膜沉積，通常用于燃料電池，裝飾，半導(dǎo)體，顯示器，LED和光伏設(shè)備，玻璃涂層等。
銥的其他應(yīng)用包括：
–特殊合金的硬化劑。
–含銥合金，用于支撐羅盤和水筆。
–銥坩堝。
–銥?zāi)?，用作保護膜或重型電觸點。
- 燃料電池。
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