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長沙鑫康新材料有限公司 金屬靶材 鎳(Ni)靶材
鎳(Ni)靶材
鎳(Ni)靶材
產(chǎn)品類別
高純金屬靶材
產(chǎn)品名稱
鎳(Ni)靶材
元素符號
Ni
純度
3N, 3N5, 4N, 4N5, 5N
形狀
平面靶 旋轉(zhuǎn)靶 異型定制
鎳(Ni)靶材概述

       鎳靶材,鎳是銀白色金屬,具有磁性和良好的可塑性。有好的耐腐蝕性,鎳近似銀白色、硬而有延展性并具有鐵磁性的金屬元素,它能夠高度磨光和抗腐蝕。溶于硝酸后,呈綠色。主要用于合金(如鎳鋼和鎳銀)及用作催化劑(如蘭尼鎳,尤指用作氫化的催化劑),密度8.902克/立方厘米, 熔點1453℃,沸點2732℃。我們可生產(chǎn)高純度到99.999%的高純鎳靶材,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體和微電子行業(yè),是半導(dǎo)體背面電極的關(guān)鍵材料。通過反復(fù)的塑性加工我們生產(chǎn)的鎳靶具有高致密度,高純度的特性,且晶粒組織大小均勻一致。我們生產(chǎn)過程的靈活性使我們能適當(dāng)調(diào)整靶材的微觀結(jié)構(gòu)來達(dá)到你想要的效果,如果濺射靶材的晶粒大小均勻一致,可以獲得良好的濺射速率和均勻的膜層。下圖是鎳濺射靶材的兩種典型的顯微金相檢測圖片,平均粒徑在100um左右。

鎳靶材.jpg  高純鎳靶材.jpg

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       我們生產(chǎn)的高純度鎳濺射靶材,它重要的好處是在物理氣相沉積的過程中,能獲得具有優(yōu)異的導(dǎo)電率和顆粒小化的薄膜。以下表格是4N5以上高純鎳濺射靶的成分分析證明書。分析方法:1,使用GDMS對金屬雜質(zhì)元素進(jìn)行分析;2,使用LECO進(jìn)行氣體元素分析。

鎳靶材參數(shù).png


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