銀靶材,銀是白色有光澤的金屬,原子序數(shù):47,原子結(jié)構(gòu)是面心立方結(jié)構(gòu),其熔點(diǎn):961℃,沸點(diǎn):2163℃,密度:10.5g/cm3。銀材料本身具有“高反射率”“低電阻”的特點(diǎn),單質(zhì)銀、銀合金可作為反射膜、電極膜、配線膜或是半透明膜(半透膜)用于以下行業(yè):有機(jī)EL顯示器、照明、觸摸屏、薄膜太陽(yáng)能電池、LED(發(fā)光二極管)、Low-E玻璃(建材)、光記錄介質(zhì)(BD、DVD、CD等)。雖然銀薄膜具有低電阻、高反射率等良好特性,但隨著時(shí)間流逝,反射率及導(dǎo)電性會(huì)因腐蝕及內(nèi)聚而下降。因此,我們也會(huì)使用銀并添加各類不同的合金成分,可以做出同時(shí)具有低電阻、高反射性及耐久性、耐熱性的銀合金靶材。
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我們生產(chǎn)的高純銀濺射靶材,重要的好處是在物理氣相沉積過(guò)程中,能獲得具有優(yōu)異的導(dǎo)電率和顆粒小化的薄膜。以下表格是4N高純銀濺射靶材的成分分析證明書。采用的分析方法有:1.使用ICP-OES對(duì)金屬元素進(jìn)行分析;2.使用LECO 進(jìn)行氣體元素分析。