鎳鎢靶材是一種比較典型的合金靶材,鎳鎢合金具有低電阻系數(shù),良好的熱穩(wěn)定性和抗氧化性;同時(shí),加工性能好,韌性高的特點(diǎn),因此以鎢、鎳混合粉末作為濺射靶材的原料,由這兩種原料制成的鎳鎢管靶已成為半導(dǎo)體領(lǐng)域用量較大的管靶之一。
鎳鎢合金靶材制備方法
制備靶材提供鎢和鎳混合粉末(質(zhì)量比為9.95:1至10.05:1),對所述鎢和鎳混合粉末采用冷等靜壓工藝,對鎢、鎳混合粉末和不銹鋼空心管進(jìn)行首次致密化和預(yù)成型,形成半致密的鎢、鎳混合粉末和不銹鋼初始坯料,使后續(xù)的熱等靜壓工藝對鎢、鎳混合粉末和不銹鋼初始坯料可以進(jìn)行更好的致密,以較好的對靶材的部分表面進(jìn)行噴砂處理,同時(shí)不影響到靶材的其他不需要噴砂的部分,獲得鎳鎢合金靶材;
鎳鎢合金靶材應(yīng)用領(lǐng)域
W-Ni硬質(zhì)合金具有高強(qiáng)度、高硬度、優(yōu)良的耐磨性、耐熱性以及良好的抗腐蝕性等特點(diǎn),因此廣泛應(yīng)用于高壓、高轉(zhuǎn)速、高溫、腐蝕性介質(zhì)等工作環(huán)境。