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長沙鑫康新材料有限公司 合金靶材 鎳鉑（NiPt）合金靶材
鎳鉑（NiPt）合金靶材
鎳鉑（NiPt）合金靶材
產(chǎn)品類別
鎳合金靶材
產(chǎn)品名稱
鎳鉑（NiPt）合金靶材
元素符號
Ni+Pt
純度
3N、3N5
形狀
平面靶 異型定制
鎳鉑（Ni/Pt）合金靶材概述

鎳鉑合金靶材


鎳鉑合金靶材是一種銀灰色金屬靶材，熔點1400-1650°C；密度18.63克/厘米3；電阻率 29.8 μΩ·cm（20°C）。

鎳鉑合金靶材 制備方法
用鎳和鉑作為原料。原料在坩堝中進行高溫熔煉成鎳鉑合金錠；采用真空電子束將鎳鉑合金錠熔煉成高純鎳鉑合金錠；對高純鎳鉑合金錠進行徑向熱鍛和退火處理；對高純鎳鉑合金錠進行縱向墩粗和退火處理；對高純鎳鉑合金錠進行熱軋，冷軋和再結(jié)晶退火處理，形成鎳鉑合金靶坯；對鎳鉑合金靶坯進行機械加工，形成鎳鉑合金靶材。通過高溫熔煉，真空電子束熔煉，徑向熱鍛和退火處理，縱向墩粗和退火處理，熱軋冷軋和再結(jié)晶退火處理等步驟，獲得了成分均勻，純度高，晶粒細(xì)小，氧含量低的鎳鉑合金靶材。這樣的靶材利于獲得厚度均勻，顆粒少的高質(zhì)量的薄膜.

鎳鉑合金靶材應(yīng)用領(lǐng)域  
鎳鉑合金靶材廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)。通過磁控濺射，鎳鉑合金靶材在硅器件表面沉積并反應(yīng)生成鎳鉑硅化物薄膜，實現(xiàn)半導(dǎo)體接觸及互連。







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