哪些濺射靶材可用于熱反射鍍膜玻璃

熱反射鍍膜玻璃又稱陽(yáng)光控制鍍膜玻璃，俗稱鍍膜玻璃，是指具有反射太陽(yáng)能功能的鍍膜玻璃。一般通過(guò)在玻璃表面鍍上金屬或金屬氧化膜，可以反射大量的太陽(yáng)輻射和光線。

熱反射玻璃
熱反射玻璃具有良好的遮光和隔熱性能。近年來(lái)，熱反射鍍膜玻璃已廣泛應(yīng)用于賓館、飯店、商業(yè)場(chǎng)所。隨著節(jié)能問(wèn)題的日益突出，熱反射玻璃也被應(yīng)用于住宅建筑。

熱反射汽車玻璃
熱反射鍍膜玻璃能有效反射太陽(yáng)紅外光（20-25%），阻隔熱量進(jìn)入車內(nèi)（隔熱性能>30%），降低空調(diào)負(fù)荷，保持良好的透光率（70- 75%），并保持清晰的視野。因此，熱反射鍍膜玻璃對(duì)濺射靶材的需求不斷增加。

哪些濺射靶材可用于熱反射鍍膜

目前汽車玻璃鍍膜常用的濺射靶材有Cr、Fe、Sn、Si、Zn、Mn、Ti、Al、Ag、Ni、Ni/Cr、Cu、Ni/Cu等不同規(guī)格的濺射靶材， 如下：

鉻濺射靶材
鉻濺射靶材廣泛應(yīng)用于五金工具鍍膜、裝飾鍍膜、平板顯示器鍍膜。五金涂層用于各種機(jī)械和冶金應(yīng)用，例如機(jī)器人工具、車削工具、模具（鑄造、沖壓）。涂膜厚度一般為2~10um，要求硬度高、磨損小、耐沖擊、耐熱沖擊、附著力強(qiáng)?，F(xiàn)在，鉻濺射靶材普遍應(yīng)用于玻璃鍍膜行業(yè)。重要的應(yīng)用是汽車后視鏡的制備。隨著汽車后視鏡的要求越來(lái)越高，很多企業(yè)已經(jīng)從原來(lái)的鍍鋁工藝轉(zhuǎn)向真空濺射鍍鉻工藝。

錫濺射靶材
錫是一種柔軟、有延展性、延展性和高度結(jié)晶的銀白色金屬。當(dāng)一根錫條被彎曲時(shí)，可以從晶體的孿晶中聽(tīng)到一種被稱為“錫哭”的噼啪聲。錫在約 232 ℃（450 ℉）的低溫下熔化，是第 14 組中低的。對(duì)于 11 nm 標(biāo)準(zhǔn)，熔點(diǎn)進(jìn)一步降低至 177.3 ℃（351.1 ℉）。

硅濺射靶材
硅濺射靶材主要用于反應(yīng)磁控濺射以沉積介電層，例如SiO2和SiN。作為必不可少的功能性薄膜材料，它們具有良好的硬度、光學(xué)、介電性能和耐磨性。硅靶材的耐蝕性在光學(xué)和微電子領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景，目前在全球范圍內(nèi)被廣泛用作功能材料。目前主要用于LCD透明導(dǎo)電玻璃、建筑LOW-E玻璃、微電子行業(yè)。硅濺射靶材可分為單晶和多晶兩種。我們通過(guò) Czochralski 晶體生長(zhǎng)法生產(chǎn)平面硅濺射靶材。

鋅濺射靶材
鋅是一種藍(lán)白色、有光澤、抗磁性的金屬，盡管常見(jiàn)的商業(yè)級(jí)金屬具有無(wú)光澤的表面。它在某種程度上比鐵密度小，具有六方晶體結(jié)構(gòu)，具有緊密六方堆積的扭曲形式。同時(shí)，每個(gè)原子在其平面上有六個(gè)近的鄰居（在 265.9 pm），另外六個(gè)在 290.6 pm 的更遠(yuǎn)距離處。金屬在大多數(shù)溫度下堅(jiān)硬易碎，但在 100 到 150 ℃ 之間變得可塑性。210℃以上，金屬又變脆，敲打即可粉碎。鋅是一種公平的電導(dǎo)體。對(duì)于金屬，鋅的熔點(diǎn)（419.5 ℃）和沸點(diǎn)（90）相對(duì)較低。

錳濺射靶材
錳是一種化學(xué)元素，符號(hào)為 Mn，原子序數(shù)為 25。它在自然界中不是自由元素；它通常存在于與鐵結(jié)合的礦物質(zhì)中。錳是一種具有重要工業(yè)金屬合金用途的金屬，特別是在不銹鋼中。錳是一種銀灰色的金屬，類似于鐵。它堅(jiān)硬且非常脆，難以熔化，但容易氧化。錳金屬及其常見(jiàn)離子是順磁性的。錳在空氣中會(huì)慢慢失去光澤，并在含有溶解氧的水中像鐵一樣氧化（“生銹”）。

鈦濺射靶材
鈦濺射靶材常用于五金工具鍍膜、裝飾鍍膜、半導(dǎo)體元件、平板顯示器鍍膜等。它是制備集成電路的核心材料之一，純度通常要求在99.99%以上。AEM 提供鈦合金靶材，例如鎢鈦 (W/Ti 90/10 wt%) 濺射靶材，這是半導(dǎo)體和太陽(yáng)能行業(yè)的重要材料。W/Ti濺射靶材密度可達(dá)14.24 g/cm3以上，純度可達(dá)99.995%。

鋁濺射靶材
鋁是一種銀白色的金屬材料。它可以在廚房用具、汽車、路燈和食品包裝中的鋁箔中找到。雖然它不是一種堅(jiān)固的材料，但它是熱和電的良導(dǎo)體，可以形成耐腐蝕的氧化層。如果在真空中蒸發(fā)，鋁層會(huì)形成望遠(yuǎn)鏡、汽車前照燈、鏡子、包裝和玩具上的反射涂層。鋁濺射靶材廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車照明、OLED、光學(xué)等行業(yè)。一些高純度鋁靶材用于半導(dǎo)體芯片、平板顯示器和太陽(yáng)能電池行業(yè)。

銀濺射靶材
銀是一種柔軟、有光澤的元素，屬于元素周期表中金屬的過(guò)渡族。它的熔點(diǎn)為 962 ℃，密度為 10.5 g/cc，在 1,105 ℃ 時(shí)的蒸氣壓為 10-4 Torr。自古以來(lái)，銀就被用于無(wú)數(shù)產(chǎn)品中。它具有延展性、延展性，并且是所有金屬中導(dǎo)電性強(qiáng)的。它被認(rèn)為是一種貴金屬，可以在珠寶、焊料、油漆和鏡子中找到。它在真空下蒸發(fā)以生產(chǎn)半導(dǎo)體、傳感器、燃料電池和光學(xué)涂層

鎳濺射靶材
鎳是一種銀白色有光澤的金屬，略帶金色。廣泛用于海綿鎳和裝飾涂料的生產(chǎn)。當(dāng)在真空中蒸發(fā)時(shí)，鎳可以在陶瓷表面或電路設(shè)備制造中形成焊料層。它經(jīng)常被濺射以在磁存儲(chǔ)介質(zhì)、燃料電池和傳感器中創(chuàng)建層。AEM 提供高純度和細(xì)晶粒的鎳濺射靶材。同等條件下，涂膜比同類產(chǎn)品更均勻，涂膜面積增加10%～20%。

銅濺射靶材
銅是一種延展性金屬，具有非常高的導(dǎo)熱性、導(dǎo)電性、延展性、耐腐蝕性。新暴露的純銅表面呈紅橙色。高純銅在電子電氣工業(yè)中用作各種線材、電子封裝的鍵合線、優(yōu)質(zhì)音頻線和集成電路、液晶顯示器濺射靶材、離子鍍等。它也是原子能、火箭、導(dǎo)彈、航空、航天導(dǎo)航和冶金工業(yè)中不可缺少的寶貴材料。AEM根據(jù)要求提供高純度OFC、白銅和合金產(chǎn)品。

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