濺射靶材分為面板和背板。根據(jù)材料的不同，濺射靶材背板也有所不同。目前常見的濺射靶材背板材料主要有無氧銅、鉬、不銹鋼管、銦等背板材料。

無氧銅（OFC）——目前背板常用的材料是無氧銅，因為它具有良好的導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性，并且易于加工。如果維護(hù)得當(dāng)，無氧銅背板可以重復(fù)使用十次以上。

鉬 (Mo) – 用于一些特殊條件，例如高溫粘合。銅背板在高溫下較易氧化或者翹曲，因此當(dāng)銅背板與靶材的熱膨脹系數(shù)不匹配時，鉬背板可與一些熱膨脹系數(shù)小的靶材匹配。

不銹鋼管（SST）——目前，不銹鋼管常用作旋轉(zhuǎn)靶材的背管。不銹鋼管具有良好的強(qiáng)度和導(dǎo)熱性，非常經(jīng)濟(jì)。

背板重復(fù)使用
首先，應(yīng)將使用過的背板卸下靶材，并對背板進(jìn)行全面檢查。檢查重點(diǎn)包括背板的平整度、完整性和密封性。然后根據(jù)背板檢查結(jié)果確認(rèn)是否重復(fù)使用。

大部分背板都可以重復(fù)使用，尤其是帶有銦的背板易于清潔和重復(fù)使用。如果使用其他涂層劑（包括環(huán)氧樹脂），背板表面可能需要進(jìn)行機(jī)械處理才能重新使用

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