2、將鍛造得到的釩鑄錠進行退火處理，退火的溫度為400-500℃，保溫時間為60-120min，然后采用空冷進行冷卻；

3、將退火得到的釩鑄錠進行軋制，并控制每道次的下壓量0.5-1mm，控制總變形量為70-80％，直至得到所需直徑和厚度的釩靶坯；

4、將軋制得到的釩靶坯進行再次退火處理，再次退火的溫度為450-550℃，保溫時間為90-150min，再次退火之后進行水冷，得到所需高純釩靶坯。

此制備得到的釩靶坯不僅內部結構均勻，還具有晶粒細小的優(yōu)點，下圖是釩濺射靶材的兩種典型的顯微金相檢測圖片，平均粒徑<100um。

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