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新聞內(nèi)容

鉬靶材制備方法及應用介紹

鉬濺射靶材


鉬靶材與其原材料具有相同的屬性。鉬是一種銀灰色金屬,它的熔點為2623°C,密度為10.2g/cm3。 真空環(huán)境或惰性氣體保護環(huán)境,純鉬較高耐高溫1200度,鉬合金較高耐高溫1700度。鉬的弱氧化從 300 °C (572 °F) 開始,它是商用金屬中熱膨脹系數(shù)低的金屬之一。鑫康生產(chǎn)的鉬靶材是具有高密度和小平均晶粒尺寸的高純度濺射靶材,用于PVD,CVD,APS和VPS鍍膜工藝。

鉬靶材特征
鉬靶材形狀:平面靶 旋轉(zhuǎn)靶 異型定制
鉬靶材純度:3N5
鉬靶材尺寸:按圖紙加工或其他者定制
我們還可以提供鉬絲、鉬片、鉬棒、鉬粒、鉬塊、鉬粉等

鉬旋轉(zhuǎn)靶材


鉬靶材制備工藝
1、鉬粉純度大于等于99.95%。采用熱壓燒結(jié)工藝對鉬粉末進行致密化處理,將鉬粉末置于模具中;將模具放入熱壓燒結(jié)爐中后,將熱壓燒結(jié)爐抽真空;調(diào)節(jié)熱壓燒結(jié)爐溫度至1200~1500℃,壓強大于20MPa,并保溫保壓2~5h;形成第一鉬靶材坯料;
2、對第一鉬靶材坯料進行熱軋?zhí)幚恚瑢⒌谝汇f靶材坯料加熱至1200~1500℃,之后進行軋制處理,形成第二鉬靶材坯料;
3、熱軋?zhí)幚砗螅瑢Φ诙f靶材坯料進行退火處理,退火處理的方法為調(diào)節(jié)溫度為800~1200℃,保溫加熱第二鉬靶材坯料2~5h,形成鉬靶材。

該方法解決了鉬靶材雜質(zhì)含量高、織構(gòu)分布不均勻的問題,通過該方法制得的鉬靶材純度和密度更高、靶材織構(gòu)分布更均勻,能形成特定的結(jié)晶取向、鉬靶材的濺射性能更好。下圖是鉬濺射靶材的兩種典型的顯微金相檢測圖片,平均粒徑<100um。

鉬靶材金相


鉬靶材應用
鉬濺射靶材可以在襯底上形成薄膜,廣泛應用于電子元器件和電子產(chǎn)品,集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件;也可應用于玻璃鍍膜域;還可以應用于耐磨材料、高溫腐蝕、裝飾用品等行業(yè)。

鉬的其它應用
鉬材料主要用在真空高溫行業(yè),電子行業(yè),藍寶石熱場及航空航天制造行業(yè)等,鉬材料經(jīng)過變形量達到60%以上的軋制加工后,鉬的密度基本上接近于理論密度,因此其具有高強度,內(nèi)部組織均勻和優(yōu)良的抗高溫蠕變性能,被廣泛應用于生產(chǎn)藍寶石晶體生長爐內(nèi)的反射屏,蓋板真空爐內(nèi)的反射屏,發(fā)熱帶,連接件,等離子鍍膜用的濺射靶材,耐高溫舟皿等制品。

鉬靶材合金類型

除鉬靶材外,我們還可以提供鉬鈦合金、鉬錸合金、鉬鈮合金、鉬銅合金、鉬鑭合金、鉬鉭合金等靶材。


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