鈮濺射靶材與其源材料具有相同的特性。鈮是一種銀灰色的、稀有的、質(zhì)地較軟且具有延展性的過渡金屬，它的熔點為2468℃，密度為8.57g/cm3，蒸氣壓為0.0755帕(2741K)。鈮濺射靶材料純度可達99.95%以上，晶粒尺寸小，再結(jié)晶組織好，三軸一致性好。作為陰極濺射靶材，它所形成的氧化膜質(zhì)量均勻，不會與空氣中的其他物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，具有持久的保護作用。它還用于各種超導(dǎo)合金，是珠寶生產(chǎn)中的常見元素。

鈮濺射靶材特征
鈮濺射靶材形狀：平面靶 旋轉(zhuǎn)靶 異型定制
鈮濺射靶材純度：3N5
鈮濺射靶材尺寸：按圖紙加工或其他者定制
我們還可以提供鈮絲、鈮粒、鈮片、鈮粉等


鈮濺射靶材制備工藝
將純度99.95%鈮鑄錠依次經(jīng)過一次鍛造、一次酸洗、一次真空退火、二次鍛造、二次酸洗、二次真空退火、錯位軋制、三次酸洗和三次真空退火，得到鈮濺射靶材。

1、將鈮鑄錠依次進行一次鍛造，一次鍛造的方式為先軸向拔長，再徑向墩粗。軸向拔長的變形量為50～80％，例如可以是50％，52％，55％，58％，60％，63％，65％，67％，70％，72％，75％，77％，80％等；徑向墩粗的變形量為50～80％，例如可以是50％，52％，55％，58％，60％，63％，65％，67％，70％，72％，75％，77％，80％等。這里說的變形量是某一方向上尺寸的變化量占原尺寸的比例。一次鍛造的溫度為400～600℃，例如可以是400℃，420℃，440℃，460℃，480℃，500℃，520℃，540℃，560℃，580℃，600℃等。

2、一次酸洗、二次酸洗和三次酸洗使用的酸洗液均為市售硫酸濃度為98％、市售氫氟酸濃度為40％和市售硝酸濃度為65％的混合酸液。三次酸洗的時間均為2～5min，例如可以是2min，2.2min，2.4min，2.6min，2.8min，3min，3.2min，3.4min，3.6min，3.8min，4min，4.2min，4.4min，4.6min，4.8min，5min等。

4、一次真空退火和二次真空退火的溫度均為1000～1200℃，例如可以是1000℃，1020℃，1040℃，1060℃，1080℃，1100℃，1120℃，1140℃，1160℃，1180℃，1200℃等；真空度均≤0.2pa，例如可以是0.01pa，0.03pa，0.05pa，0.08pa，0.1pa，0.13pa，0.15pa，0.17pa，0.2pa等；時間均為1～3h，例如可以是1h，1.2h，1.4h，1.6h，1.8h，2h，2.2h，2.4h，2.6h，2.8h，3h等。

5、二次鍛造的方式為徑向墩粗。徑向墩粗的變形量為40～60％，例如可以是40％，42％，44％，46％，48％，50％，52％，54％，56％，58％，60％等；溫度為400～600℃，例如可以是400℃，420℃，440℃，460℃，480℃，500℃，520℃，540℃，560℃，580℃，600℃等。

6、錯位軋制中，上軋輥和下軋輥的軸線位錯量為4～8mm，例如可以是4mm，4.2mm，4.5mm，.8mm，5mm，5.3mm，5.5mm，5.8mm，6mm，6.2mm，6.5mm，6.7mm，7mm，7.3mm，7.5mm，7.8mm，8mm等；轉(zhuǎn)動速度相等均為0.5～1rad/s，例如可以是0.5rad/s，0.55rad/s，0.6rad/s，0.65rad/s，0.7rad/s，0.75rad/s，0.8rad/s，0.85rad/s，0.9rad/s，0.95rad/s，1rad/s等；變形量≥80％，例如可以是80％，81％，82％，83％，84％，85％，86％，87％，88％，89％，90％等。

7、三次真空退火的溫度為850～1000℃，例如可以是850℃，870℃，880℃，900℃，910℃，920℃，930℃，940℃，950℃，960℃，970℃，980℃，990℃，1000℃等；真空度為≤0.2pa，例如可以是0.01pa，0.03pa，0.05pa，0.08pa，0.1pa，0.13pa，0.15pa，0.17pa，0.2pa等；時間為40～90min，例如可以是40min，45min，50min，55min，60min，65min，70min，75min，80min，85min，90min等。

該制備方法將兩次鍛造和錯位軋制相結(jié)合，兩次鍛造破壞靶材內(nèi)部的晶粒結(jié)構(gòu)，使得晶粒尺寸變小，錯位軋制使得靶材內(nèi)部的晶粒更均勻，再結(jié)合三次熱處理過程，制得了晶粒尺寸小、晶粒取向均勻的鈮靶材；且工藝操作簡便，制備成本較低，適用性廣。下圖是鈮濺射靶材典型的顯微金相檢測圖片，平均粒徑<100um。

鈮濺射靶材應(yīng)用
鈮濺射靶材主要應(yīng)用于表面工程材料，如船舶、化工、液晶顯示器（LCD）以及耐熱、耐腐蝕高導(dǎo)電等鍍膜行業(yè)，薄膜太陽能工業(yè)，低輻射玻璃工業(yè)，平板顯示工業(yè)，光學鍍膜工業(yè)，工具及裝飾鍍膜工業(yè)。

鈮的其它應(yīng)用
鋼鐵生產(chǎn)
鈮是一種有效的鋼微合金化元素，在其中形成碳化鈮和氮化鈮。這些化合物改善了晶粒細化，延緩了重結(jié)晶和沉淀硬化。這些相同的鈮合金通常用于管道建設(shè)。

高溫合金
鎳基、鈷基和鐵基高溫合金中鈮的用量高達6.5%，用于噴氣發(fā)動機部件、燃氣輪機、火箭組件、渦輪增壓器系統(tǒng)、耐熱和燃燒設(shè)備等應(yīng)用。鈮在高溫合金的晶粒結(jié)構(gòu)中沉淀硬化γ“相。

超導(dǎo)磁體
鈮鍺（Nb3Ge）、鈮錫（Nb3Sn）以及鈮鈦合金用作超導(dǎo)磁體的II型超導(dǎo)線。這些超導(dǎo)磁體用于磁共振成像和核磁共振儀器以及粒子加速器。

鈮濺射靶材合金類型
除鈮濺射靶材外，我們還可以提供鈮錫合金、鈮鋯合金、鈮鉿合金、鈮鎳合金、鉬鈮合金、鋁鈮合金、鈮酸鋰合金等濺射靶材。

感謝您閱讀我們的文章，希望它可以幫助您更好地了解鈮濺射靶材制備工藝及主要用途。如果您想了解更多關(guān)于金屬粉末的信息，請收藏我們的網(wǎng)站鑫康新材料靶材生產(chǎn)廠家http://aa220.cn/。

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