鉻靶材制備方法及應(yīng)用介紹

鉻靶材具有與金屬鉻（Cr）相同的性能。鉻靶材是一種鋼灰色、有光澤、堅(jiān)硬和脆性的過渡金屬。在真空中，鉻靶材可以產(chǎn)生相對(duì)穩(wěn)定的鉻離子束，這使得它可以用于制作襯底或者表面涂層，用以保護(hù)基材或者制作一些特別需要高氧化抗性的工業(yè)零件。鉻靶材也可用于制備鉻化合物化學(xué)計(jì)量比的研究。

鉻濺射靶材特征
鈦靶材形狀：平面靶 異型定制
鈦靶材純度：2N5，3N，3N5
鈦靶材尺寸：按圖紙加工或其他者定制
我們還可以提供鉻板、鉻粒、鉻片、鉻粉等

鉻濺射靶材制備工藝
將粒度為60目-320目和粒度為320目- 500目的金屬鉻粉混合均勻，烘干備用，粒度為60目- 320目的金屬鉻粉與粒度為320目- 500目的金屬鉻粉的質(zhì)量比為5:3, 9:2;

將混合的金屬鉻粉加入到冷壓模具內(nèi)，用700Mpa - 100Mpa壓力冷壓成型，保壓1s - 120s,壓制為所需尺寸實(shí)心圓柱體的鉻靶材坯料；

用包覆紙將鉻靶材坯料表面包覆，裝入熱壓模具內(nèi)，入爐；

抽真空至O-15pa,升溫至300°C-400°C,保溫10min-30min,繼續(xù)升溫至600°C-800°C，停止加熱，啟動(dòng)熱壓設(shè)施，對(duì)正熱壓設(shè)施的上下壓頭，對(duì)鉻靶材坯料8Mpa-12Mpa壓力下預(yù)熱壓60s-90s ;關(guān)閉熱壓設(shè)施，繼續(xù)升溫至1300°C-1600°C，保溫30min - 120min； 再啟動(dòng)熱壓設(shè)施,用20Mpa-10Mpa壓力熱壓成型,保壓1min-10min,降溫至100°C后出爐，得到鉻靶材。

該制備方法工藝簡單，操作方便，對(duì)環(huán)境友好，產(chǎn)品成品率高，實(shí)現(xiàn)了工業(yè)化生產(chǎn)。上圖是鉻濺射靶材典型的顯微金相檢測圖片，平均粒徑<100um。

鉻靶材應(yīng)用
鉻濺射靶在汽車工業(yè)中有很大的應(yīng)用領(lǐng)域。為了在車輪和保險(xiǎn)杠上形成光亮的涂層，鉻濺射靶是很好的材料。如汽車玻璃涂層，也可使用鉻濺射靶。
鉻具有很高的耐腐蝕性，這一特性使得鉻濺射靶適合于獲得耐腐蝕涂層。
在工業(yè)中，通過鉻濺射靶獲得的硬質(zhì)材料涂層可佳地保護(hù)發(fā)動(dòng)機(jī)部件(如活塞環(huán))免受過早磨損，從而延長重要發(fā)動(dòng)機(jī)部件的使用壽命。
鉻濺射靶材也可用于光伏電池制造和電池制造。

總之，鉻濺射靶材被用于許多領(lǐng)域， 電子元件、顯示器和工具的物理沉積薄膜和功能涂層(PVD方法);手表、家用電器零件、液壓缸、滑閥、活塞桿、有色玻璃、鏡子、汽車零件和配件以及其他機(jī)器和設(shè)備的真空鍍鉻。

鉻的其它應(yīng)用
金屬鉻主要用于多種合金的生產(chǎn)原料，廣泛用于化工、汽車、造船、航空、核反應(yīng)堆、軍工等行業(yè)。工業(yè)生產(chǎn)的金屬鉻主要采用鋁熱法鉻和電解鉻法兩種方式，產(chǎn)品為片狀或塊狀，而鉻靶材是由純鉻粉制成的鉻制品，常作為表面覆膜改性處理工藝的蒸發(fā)源，廣泛應(yīng)用于鎖具和五金工具、燈具、汽摩裝飾條和車鏡、衛(wèi)浴水龍頭、機(jī)械刀具領(lǐng)域和IT產(chǎn)品殼體和按鍵，但金屬鉻具有熔點(diǎn)高、與氧親和力強(qiáng)、活性大的特點(diǎn)，因此在制備鉻制品時(shí)比較困難。

鉻靶材合金類型
除鉻靶材外，我們還可以提供鉻鋁合金、鎳鉻合金、釩鉻合金、銅鉻合金、鐵鉻鋁合金等濺射靶材。