釕靶材是指由釕(Ru)制成的用于靶材應(yīng)用的材料。靶材顏色呈灰色,熔點(diǎn)2334°C,密度12.37g/cm3,熱膨脹 6.4 μm /(m·K)。釕靶材具有良好的耐熱性、耐腐蝕性和機(jī)械強(qiáng)度,適合在高溫、高壓和腐蝕環(huán)境下使用。
釕靶材特征
釕靶材形狀:平面靶、異型定制
釕靶材純度:3N5
釕靶材尺寸:按圖紙加工或其他者定制
我們還可以提供金屬釕錠、釕顆粒、釕粉等
釕靶材制備工藝
將釕粉裝入石墨模具,振實(shí)壓緊。將裝填好粉料的石墨模具放入真空熱壓爐中進(jìn)行單向熱壓燒結(jié),燒結(jié)過程在保護(hù)氣體氛圍下進(jìn)行,燒結(jié)溫度為1600-1800℃,燒結(jié)壓力為5-20mp;在室溫至1000℃,升溫速率為5-10℃/min;在1000℃至1500℃,升溫速率為5~8℃/min;在1500℃至燒結(jié)溫度,升溫速率為升溫速度為2-5℃/min;在燒結(jié)溫度保溫30-120min,燒結(jié)完成后冷卻、脫模,得到坯塊;
將得到的坯塊進(jìn)行表面打磨拋光,依據(jù)磁控濺射設(shè)備進(jìn)行尺寸加工,得到高純釕濺射靶材。
此制備工藝相對(duì)簡(jiǎn)單,工藝參數(shù)可控性強(qiáng),設(shè)備和能源成本較低,易實(shí)現(xiàn)大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化;制備成本較低,制備工藝溫度大大降低,能夠大大降低制備過程中混入雜質(zhì)的可能性,純度更容易保證;靶材后期加工和變形工藝較少,產(chǎn)品微觀組織穩(wěn)定,有利于其濺射性能的穩(wěn)定;采用的粉末冶金工藝,可通過調(diào)整原料粉體粒度、控制燒結(jié)工藝制度、調(diào)控加工工藝等方法來實(shí)現(xiàn)釕靶材組織精細(xì)度的調(diào)控,靶材性能的可控性更強(qiáng)。上圖是釕靶材的材質(zhì)分析報(bào)告。
釕靶材用途
電子器件應(yīng)用:釕靶材可以用于電子器件的薄膜沉積。釕薄膜具有優(yōu)異的導(dǎo)電性和耐腐蝕性,適用于高溫、高壓和腐蝕環(huán)境下的電子器件制造。
光學(xué)應(yīng)用:釕靶材可以用于制備光學(xué)薄膜和光學(xué)鍍膜。釕薄膜具有良好的反射和抗腐蝕性能,在激光器、光學(xué)儀器等領(lǐng)域有應(yīng)用需求。
釕金屬銀其他應(yīng)用
催化劑:釕是許多化學(xué)反應(yīng)中常用的催化劑。它可以用于制造藥物、塑料和化學(xué)品等。
電池材料:釕可以用于制造高性能的電池材料,如釕氧化物電池、釕鋅電池和釕鋰電池等。
電解質(zhì):釕可以用作電解質(zhì),例如用于固體氧化物燃料電池中的釕鋇鈦礦。
金屬合金:釕可以與其他金屬合金化,增加合金的硬度和耐腐蝕性。例如,釕與鈦合金化可以制造高強(qiáng)度、耐高溫的航空發(fā)動(dòng)機(jī)零件。
高溫材料:釕具有高熔點(diǎn)和耐高溫性能,因此可以用于制造高溫爐、航空發(fā)動(dòng)機(jī)和火箭噴嘴等。
釕靶材系列產(chǎn)品
除釕靶材外,我們還可以提供釕鈦合金、釕鈀合金、釕鉑合金等濺射靶材。
感謝您閱讀釕金屬濺射靶材制備工藝以及用途,希望大家能對(duì)釕靶材有更好的了解。如果您想了解更多關(guān)于金屬科研材料的信息,請(qǐng)收藏我們的網(wǎng)站鑫康新材料靶材生產(chǎn)廠家http://aa220.cn/。
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