關(guān)于鋁硅合金靶材性能，制備方法及其應(yīng)用介紹

鋁硅合金靶材是一種用于濺射鍍膜的材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、電子等領(lǐng)域。鋁硅合金靶材的主要成分是鋁和硅，具有良好的導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性、耐熱性和耐核輻射性。

鋁硅靶材特征
鋁硅靶材形狀：平面靶 異型定制
鋁硅靶材純度：3N，5N
鋁硅靶材尺寸：按圖紙加工或者定制
我們還可以提供鋁硅合金塊、鋁硅合金錠、鋁硅合金粉等

一種鋁硅合金靶材的制備方法

將鋁硅鑄錠依次在鋁硅鑄錠的長(zhǎng)度方向、鋁硅鑄錠的寬度方向和鋁硅鑄錠的厚度方向進(jìn)行鍛壓，鍛壓包括依次進(jìn)行的墩粗和拔長(zhǎng)，墩粗的變形量為鋁硅鑄錠墩粗前的對(duì)應(yīng)方向上長(zhǎng)度的40-60％，拔長(zhǎng)的變形量為鋁硅鑄錠拔長(zhǎng)前的對(duì)應(yīng)方向上長(zhǎng)度的100-120％，鍛壓次數(shù)為9-12次，每次鍛壓后進(jìn)行2-5min水冷，鍛壓結(jié)束后得到鍛后靶坯；

第一熱處理，熱處理的升溫速率為8-12℃/min、溫度為300-350℃、時(shí)間為10-30min，之后進(jìn)行水冷。

軋制，軋制的參數(shù)為5-10mm/道次，軋制的總變形量為鍛后靶坯的70-90％。

第二熱處理，第二熱處理的升溫速率為8-12℃/min、溫度為350-400℃，時(shí)間為10-30min，之后進(jìn)行水冷。后進(jìn)行機(jī)加工得到鋁硅靶材。

該方法制備的鋁硅靶材，優(yōu)化了內(nèi)部晶粒組織，制備的靶材晶粒細(xì)小均勻，將其平均晶粒尺寸控制在95μm以下，尤其可以控制在58μm以下，且晶粒尺寸變化范圍在25μm之內(nèi)；將靶材用于濺射鍍膜時(shí)可提高濺射速率和成膜均勻性及致密性。

鋁硅合金靶材應(yīng)用
半導(dǎo)體關(guān)聯(lián)靶材：鋁硅合金靶材在半導(dǎo)體器件中用作電極、布線薄膜等。
存儲(chǔ)器電極薄膜：鋁硅合金靶材可用于制造存儲(chǔ)器電極薄膜。
粘附薄膜：鋁硅合金靶材在粘附薄膜中也有應(yīng)用。
電容器絕緣膜薄膜：鋁硅合金靶材可用于制造電容器絕緣膜薄膜。

鋁硅合金應(yīng)用
航空和交通領(lǐng)域：鋁硅合金因其輕質(zhì)和高強(qiáng)度的特性，被廣泛用于航空航天器的結(jié)構(gòu)件制造。在交通運(yùn)輸領(lǐng)域，尤其是在汽車行業(yè)，這種合金用于制造發(fā)動(dòng)機(jī)部件、散熱器以及車身結(jié)構(gòu)等，以提高燃油效率并降低排放。
建筑行業(yè)：在建筑行業(yè)，鋁硅合金用于制造門窗框架、幕墻材料等，這些應(yīng)用利用了合金的耐腐蝕性和良好的機(jī)械性能。
電子產(chǎn)品：鋁硅合金也用于電子產(chǎn)品中的散熱器，因?yàn)樗哂辛己玫臒釋?dǎo)性，可以幫助散發(fā)電子設(shè)備產(chǎn)生的熱量。
鋼鐵冶煉：在鋼鐵冶煉過程中，硅鋁合金用作脫氧劑，有助于提高鋼的質(zhì)量。它的使用可以降低煉鋼過程中的燒損，并且與純鋁相比，硅鋁合金的利用率更高。
制造復(fù)雜鑄件：鋁硅合金適用于生產(chǎn)形狀復(fù)雜的中低強(qiáng)度鑄件，如蓋板、電機(jī)殼、托架等。此外，它還可以作為釬焊焊料，用于連接金屬部件。

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