碳化鎳靶材是由鎳和碳元素組成的化合物靶材,具有高硬度、高耐磨性和良好的耐腐蝕性等特點(diǎn)。它在磁控濺射、化學(xué)氣相沉積(CVD)等薄膜沉積技術(shù)中作為靶材,用于制備碳化鎳薄膜,這些薄膜在電子、能源、機(jī)械等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
碳化鎳靶材特征
碳化鎳靶材形狀:平面靶、異型定制
碳化鎳靶材純度:4N
碳化鎳靶材尺寸:按圖紙加工或其他者定制
我們還可以提供碳化鎳顆粒、碳化鎳塊,碳化鎳粉末等
碳化鎳靶材制備工藝
準(zhǔn)備原料:將鎳源和碳源按照一定的比例混合溶解;
水熱反應(yīng):將混合溶液在150-180℃下進(jìn)行水熱反應(yīng),反應(yīng)時(shí)間為16-20小時(shí)。反應(yīng)結(jié)束后,將產(chǎn)物洗滌并干燥,得到前驅(qū)體;
高溫煅燒:將前驅(qū)體在800-1000℃下煅燒1.8-2.2小時(shí),即可得到碳化鎳靶材。
上圖是碳化鎳靶材的成分分析表
碳化鎳靶材材應(yīng)用
微電子領(lǐng)域:碳化鎳靶材用于制造集成電路(IC)中的導(dǎo)電層和互連層。它可以提高電子器件的導(dǎo)電性和耐腐蝕性。
薄膜電阻:碳化鎳薄膜電阻具有穩(wěn)定的電阻值和良好的溫度系數(shù),適用于各種電子設(shè)備。
光學(xué)鍍膜:碳化鎳靶材用于制備光學(xué)薄膜,如增透膜、反射膜等,用于光學(xué)儀器和設(shè)備。
裝飾鍍膜:碳化鎳鍍膜具有良好的裝飾效果和耐磨性,常用于高檔手表、珠寶等飾品的表面處理。
功能性鍍膜:碳化鎳靶材用于制備具有特定功能的薄膜,如磁性薄膜、導(dǎo)電薄膜等,用于傳感器、存儲(chǔ)器等設(shè)備。
耐磨涂層:碳化鎳涂層可以提高機(jī)械零件的耐磨性和使用壽命,應(yīng)用于航空航天、汽車工業(yè)等領(lǐng)域。
耐腐蝕涂層:碳化鎳涂層具有良好的耐腐蝕性,用于化工設(shè)備、海洋工程等領(lǐng)域的防腐保護(hù)。
碳化鎳其他應(yīng)用
催化劑:碳化鎳可用作催化劑,用于化學(xué)反應(yīng)中的催化作用,如加氫、脫氫、重整等過程。
硬質(zhì)合金:碳化鎳作為硬質(zhì)合金的成分之一,用于制造高強(qiáng)度、高硬度的工具和零件,如切削工具、模具等。
電極材料:碳化鎳用于制備電池電極材料,如鋰離子電池的正極材料,提高電池的性能和壽命。
電子元器件:碳化鎳用于制造電子元器件,如電阻器、電感器等,提供穩(wěn)定的電氣性能。
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