鐵鉻合金靶材主要由鐵(Fe)和鉻(Cr)兩種元素組成,具有特定的鐵和鉻的比例。通常呈灰黑色,其純度可以達到3N(即99.9%)。制備通常采用真空感應熔煉法和粉末冶金法。
鐵鉻靶材特征
鐵鉻靶材形狀:平面靶、異型定制
鐵鉻靶材純度:2N5
鐵鉻靶材尺寸:按圖紙加工或其他者定制
我們還可以提供鐵鉻合金顆粒、鐵鉻合金塊,鐵鉻合金粉末
鐵鉻合金靶材制備工藝
混合金屬粉?:選擇高純度的鐵和鉻原料,根據(jù)所需合金的成分比例進行稱量;
干壓成型:將混合好的粉末放入模具中,利用干壓成型機施加一定壓力制成靶材坯體;
預燒:將坯體置于燒結(jié)爐中,在較低溫度下(例如500°C左右)進行預燒,以去除有機物和水分。隨后升溫至更高的溫度(如1200°C至1500°C),在此溫度下保溫一段時間以實現(xiàn)粉末顆粒間的擴散和合金化反應,從而獲得致密的鐵鉻合金靶材。燒結(jié)完成后,緩慢冷卻至室溫以防止產(chǎn)生裂紋;
加工處理:對燒結(jié)后的靶材進行機械加工,以達到所需的尺寸和形狀精度。對靶材進行表面處理,以確保其在濺射過程中的性能。
上圖是鐵鉻合金靶材的成分分析表
鐵鉻合金靶材材應用
電子行業(yè):用于集成電路(IC)、液晶顯示器(LCD)、發(fā)光二極管(LED)等制造過程中的薄膜沉積。
光學行業(yè):用于制備光學薄膜,如增透膜、反射膜、濾光膜等,以改善光學元件的性能,提高光學系統(tǒng)的成像質(zhì)量和光學效率。
表面涂層領域:通過物理氣相沉積技術在各種材料表面沉積鐵鉻合金薄膜,以提高材料的表面硬度、耐磨性、耐腐蝕性和抗氧化性,延長材料的使用壽命,廣泛應用于機械零部件、刀具、模具等表面涂層。
其他領域:在航空航天、汽車制造、新能源等領域也有一定的應用,如用于制造航空發(fā)動機部件的高溫防護涂層、汽車零部件的表面強化涂層等。
鐵鉻合金其他應用
航空、航天領域:鐵鉻合金在航空、航天領域有著重要的應用。由于鐵鉻合金具有高強度、高溫穩(wěn)定性和耐腐蝕性,它被用于制造航空發(fā)動機和航天器的關鍵部件,如渦輪葉片、燃燒室和導向葉片等。
汽車領域:在汽車領域,鐵鉻合金被用于制造發(fā)動機、制動系統(tǒng)、外殼和底盤等關鍵零部件。其高強度和耐腐蝕性確保了汽車部件的耐用性和安全性。
化工領域:鐵鉻合金的耐腐蝕性能使其在化工領域得到廣泛應用,用于制造耐腐蝕設備和管道,能夠抵抗酸、堿等腐蝕性介質(zhì)的侵蝕。
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