在物理氣相沉積過程中,靶材被分解成蒸氣狀態(tài)(通常在高真空環(huán)境中),然后沉積在其他材料(稱為基板)上以形成薄膜。濺射靶材采用物理氣相沉積技術(shù)制成的薄膜具有許多優(yōu)點,例如優(yōu)異的硬度、耐用性和良好的抗變色和耐腐蝕能力。因此,如今靶材濺射鍍膜越來越多地用于多種用途,對靶材的需求也迅速增加。
下面我們來看看各種靶材在濺射鍍膜中的應(yīng)用。
裝飾涂料裝飾涂層主要是指手機、手表、眼鏡、衛(wèi)生潔具、五金零件等的表面涂層,使之看起來更美觀。由于純金屬濺射靶材和合金濺射靶材具有多種金屬顏色,PVD涂層被廣泛用于裝飾。例如,TiN濺射膜具有高貴的金色,Cr2N濺射膜具有美麗的銀色。PVD涂層也可提供其他特殊顏色,如玫瑰金、煙灰色、紫銅色等。
光學鍍膜在光學涂層的PVD涂層用于包括防反射涂層中的相機,在太陽能接收器的高反射涂層,玻璃低排放涂層等。取Low-E玻璃為例,它可以反射熱量回到其源使房間在夏天保持涼爽,在冬天保持溫暖,有助于防止紫外線褪色,無需特殊清潔。因此,low-e鍍膜玻璃近已經(jīng)取代了傳統(tǒng)的建筑玻璃。而且?guī)缀跛写笮筒AЪ庸て髽I(yè)都在迅速增加玻璃鍍膜線。相應(yīng)地,對濺射靶材的需求也迅速增加。
用于光學鍍膜的濺射靶材有:
鉻(Cr)濺射靶材、
鎳鉻(NiCr)濺射靶材、鋅錫(ZnSn)濺射靶材等。
保護涂層保護涂層,涂在基材上,起到保護作用,延長其使用壽命。保護膜包括腐蝕保護膜、潤滑膜和熱保護膜。TiC濺射膜和BN濺射膜經(jīng)常用作切削和磨具中的硬膜。
用于保護涂層的濺射靶材有:
鈦鋁(TiAl)濺射靶材、
鋁鉻(AlCr)濺射靶材、
鈦(Ti)濺射靶材等。
電氣涂層電子工業(yè)發(fā)展迅速,需要高純度、大質(zhì)量的材料。濺射靶材可用于制造半導體器件和集成電路中的導電材料和介電薄膜、超導薄膜和ITO薄膜。
太陽能電池涂層目前,太陽能電池已經(jīng)發(fā)展到第三代。第一代是單晶硅太陽能電池,第二代是非晶硅和多晶硅太陽能電池,第三代是薄膜太陽能電池(以銅銦鎵硒CIGS薄膜為代表),濺射鍍膜工藝是首選的制備方法.
用于太陽能電池鍍膜的靶材主要有:氧化鋅(ZnO)濺射靶材、 鋅鋁(ZnAl)濺射靶材、 硫化鎘(CdS)濺射靶材等。
鑫康新材料是金屬、合金、氧化物、陶瓷材料等各種高質(zhì)量濺射靶材的全球供應(yīng)商。上述所有濺射靶材鑫康均提供,如果有相關(guān)靶材的問題可以關(guān)注我們的公眾號:xinkang11111,或者
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