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磁控濺射靶材變黑,引起靶材中毒的原因



磁控濺射時靶材表面變黑


磁控濺射時靶材表面變黑我們可以想到的

1、可能靶材是多孔的,(細(xì)孔)在孔中有一些有機(jī)污染物(極端可能性);
2、可能靶材有點(diǎn)粗糙,用紙巾用異丙醇或丙酮擦拭,粗糙的表面在目標(biāo)表面保留了一些細(xì)薄的組織纖維,這可能是碳污染的來源;
3、沉積速率可能相當(dāng)高,并產(chǎn)生非常粗糙的沉積物;
4、基板與靶材保持非常接近,在目前的濺射條件下(功率、壓力、子靶材距離)有一些發(fā)熱,氣體中有一些污染;
5、真空室漏氣或漏水,真空室內(nèi)有揮發(fā)的成分,沒有充入氬氣,充入空氣或其他氣體,可能引起中毒,這些成分與靶材反應(yīng),色物質(zhì)覆蓋靶材表面。


通常靶材變黑引起中毒的因素

靶材中毒主要受反應(yīng)氣體和濺射氣體比例的影響。在反應(yīng)濺射過程中,靶材表面的濺射通道區(qū)域被反應(yīng)產(chǎn)物覆蓋或反應(yīng)產(chǎn)物被剝離,金屬表面重新暴露。如果化合物的形成速率大于化合物被剝離的速率,則化合物覆蓋面積增加。在一定功率的情況下,參與化合物生成的反應(yīng)氣體量增加,化合物生成速率增加。如果反應(yīng)氣體量增加過多,復(fù)合覆蓋面積增加,如果反應(yīng)氣體流量不能及時調(diào)整,復(fù)合覆蓋面積增加的速度不會受到抑制,濺射通道將被化合物進(jìn)一步覆蓋。當(dāng)濺射靶材完全被化合物覆蓋時,靶材將完全中毒。


靶材中毒變黑的影響

a、正離子積聚:當(dāng)靶材中毒時,在靶材表面形成絕緣膜。當(dāng)正離子到達(dá)陰極靶表面時,由于絕緣層的阻擋,它們不能直接進(jìn)入陰極靶表面。相反,它們沉積在靶材表面,很可能產(chǎn)生電弧放電——在冷場中產(chǎn)生電弧,使陰極濺射無法進(jìn)行。

b、陽極消失:當(dāng)靶材中毒時,地面真空室壁上沉積絕緣膜,到達(dá)陽極的電子不能進(jìn)入陽極,形成陽極消失現(xiàn)象。

以上就是磁控濺射靶材表面變黑引起中毒的淺談,對于靶中毒的解決辦法清訪問此鏈接http://aa220.cn/cn/news_55.html,歡迎來訪鑫康新材料,希望以上的內(nèi)容對您有所幫助。


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