鍍膜行業(yè)中可以應(yīng)用蒸發(fā)的方式實(shí)現(xiàn)薄膜沉積。利用這種薄膜沉積方法,將用于沉積的源材料在真空中蒸發(fā),蒸汽粒子即可以自由地移動(dòng)到基材的表面。在到達(dá)基材襯底時(shí),蒸發(fā)的材料沉降并凝結(jié)回固態(tài),在基材上形成薄膜。
不同蒸發(fā)源的種類
用于制造蒸發(fā)源的材料通常具有高熔點(diǎn)和低蒸氣壓。
燈絲材質(zhì)為鎢、鉬、鉭等高熔點(diǎn)金屬,一般將蒸發(fā)物質(zhì)掛或放置在燈絲上,在真空中使大電流通過包含蒸發(fā)材料的燈絲,這些材料將被加熱到它們的熔點(diǎn)終使其蒸發(fā)。
用于蒸發(fā)薄膜沉積的坩堝由耐高溫材料制成,其材質(zhì)包括鎢、鉬、鉭、及耐高溫的氧化鋁、石墨或氮化硼。通常,制造商需要根據(jù)要蒸發(fā)的材料來選擇不同的坩堝。
蒸發(fā)舟是真空蒸發(fā)鋁材料的佳熱蒸發(fā)源。通常舟形蒸發(fā)源是采用鎢材料制造的,現(xiàn)在蒸發(fā)舟亦由可導(dǎo)電的高性能陶瓷復(fù)合材料制成,使用的主要原材料是氮化硼和二硼化鈦,蒸發(fā)面可開槽或進(jìn)行激光表面刻蝕,其性能可靠,蒸發(fā)率精確且使用壽命長(zhǎng)。
通常,用于任何薄膜沉積工藝的蒸發(fā)源的選擇取決于被鍍膜的基材。 了解更多蒸發(fā)源及蒸發(fā)材料https://www.xk-materials.cn/goodsList_27_1.html(由此鏈接進(jìn)入)
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