由于鉬是一種高熔點(diǎn)（2620°C）的金屬，因此,鉬濺射靶材的主要制備方法以粉末冶金方法為主。
粉末冶金法制備鉬濺射靶材三大關(guān)鍵點(diǎn)
1、選擇高純鉬粉作為原料;
2、選擇能實(shí)現(xiàn)快速致密化的成形燒結(jié)技術(shù), 以保證靶材的低孔隙率, 并控制晶粒度;
3、制備過程嚴(yán)格控制雜質(zhì)元素的引入。其中鉬粉原料的純度是保證終鉬濺射靶材純度的主要因素, 其純度至少需要99. 95% 以上。
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