靶材濺射鍍膜過程中，靶材的清潔度對于濺射所形成的鍍膜的質(zhì)量、產(chǎn)品的合格率以及生產(chǎn)成本而言，非常重要。接下來我們講下存儲(chǔ)在礦物油中靶材的清理方法。

有些靶材非常容易氧化，為了保障靶材不與空氣或水蒸氣發(fā)生反應(yīng)，通常在儲(chǔ)存和運(yùn)輸過程中將它們浸入含礦物油的真空包裝中。在將含有礦物油的靶材安裝到真空系統(tǒng)之前，我們必須使用溶劑去除這些油。溶劑的選擇需要它們不會(huì)對真空系統(tǒng)或后續(xù)薄膜工藝產(chǎn)生污染。

溶劑的選擇
一些高反應(yīng)性靶材可能與某些溶劑發(fā)生反應(yīng)。因此，選擇烴類的溶劑，考慮到費(fèi)用，我們可以使用工業(yè)級溶劑，例如工業(yè)級己烷、庚烷、異辛烷。

以下是一些不推薦使用的溶劑
不要使用含氮類、含硫類、含氯類、含氧類溶劑和使用如醇、酮、酯、醚等。

環(huán)境要求
將靶材放在密封的手套箱中，并在氬氣的輕微正壓下進(jìn)行清洗?；蛘?，在通風(fēng)櫥或通風(fēng)良好的地方盡快完成所有清潔步驟，減少靶材暴露在空氣中的時(shí)間。

具體清潔步驟
首先，需要準(zhǔn)備不少于三個(gè)培養(yǎng)皿，并確?？梢蕴畛涞娜軇┮酝耆]靶材。其次，從包裝中取出靶材，并用無絨紙巾快速擦去多余的油。之后，立即將材料浸入裝有工業(yè)溶劑的培養(yǎng)皿中，并攪拌以促進(jìn)溶解。然后，從培養(yǎng)皿中取出材料，并用干凈的紙巾快速擦去多余的溶劑。重復(fù)上述過程3次。后培養(yǎng)皿中取出時(shí)，立即將材料轉(zhuǎn)移到真空室中，并用氬氣進(jìn)行預(yù)沖洗，腔室應(yīng)始終用氬氣排出。當(dāng)靶材安裝在其源中時(shí)，停止 Ar 流，關(guān)閉腔室法蘭并泵送。如果靶材材料是快速氧化的反應(yīng)濺射靶材，如Ca、Ba、Sr，請進(jìn)行短時(shí)間預(yù)濺射。


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