陶瓷靶制備注意的三大要點(diǎn)成型方法 原料粒度 燒結(jié)工藝

陶瓷靶材的純度對(duì)濺射薄膜的性能影響很大,純度越高,濺射薄膜的均勻性和批量產(chǎn)品的質(zhì)量的一致性越好.除此之外，為了制備高性能的陶瓷靶材，我們應(yīng)該對(duì)這些因素進(jìn)行控制，主要包括成型方法，原料粒度，燒結(jié)的影響，今天就來(lái)為大家分析影響陶瓷靶材性能的主要因素有那些。

成型方法

為了減少陶瓷靶材的氣孔,提高薄膜性能,要求濺射陶瓷靶材具有高密度.低氣孔率、高密度意味著陶瓷體內(nèi)晶粒排列緊密，在承受外界載荷或腐蝕性物質(zhì)侵蝕的時(shí)候不易形成破壞性的突破點(diǎn)。而要得到鈣質(zhì)密度的陶瓷胚體，成型方法是關(guān)鍵。陶瓷靶材的成型一般采用干壓、等靜壓、熱壓鑄等方法。不同的方法具有不同的特點(diǎn)，對(duì)養(yǎng)護(hù)率陶瓷燒結(jié)性和顯微結(jié)構(gòu)的影響也會(huì)有所不同。

原料粒度

原料粉粒度對(duì)陶瓷靶材形成的薄膜質(zhì)量有很大的影響，只有原料足夠細(xì)，后的燒制成品才有可能形成微結(jié)構(gòu)，使他具有很好的耐磨性。粉料顆粒越細(xì)，活性也越大，可促進(jìn)燒結(jié)，制成的瓷強(qiáng)度也越高，小顆粒還可以分散由于剛玉和玻璃相線膨脹系數(shù)不同在晶界處造成的應(yīng)力集中，減少開(kāi)裂的危險(xiǎn)性，細(xì)的晶粒還能妨礙微裂紋的發(fā)展，不易在成穿晶斷裂，有利于提高斷裂韌性，還可以提高耐磨性。

以上就是影響陶瓷性能的主要因素。希望對(duì)您了解陶瓷靶材有所幫助。更多陶瓷靶材產(chǎn)品點(diǎn)擊此鏈接，如果正好有您需要的隨時(shí)與我們聯(lián)系我們會(huì)電話進(jìn)行成本報(bào)價(jià)。

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