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關(guān)于鎳鋁合金靶材性能,制備方法及其應(yīng)用介紹

鎳鋁合金靶材是一種用于物理氣相沉積(PVD)工藝的材料,主要用于制造各種薄膜和涂層。這種靶材主要由鎳和鋁兩種金屬元素組成,純度可以達(dá)到3N5(99.95%),規(guī)格通常是平面靶材,具有優(yōu)異的耐腐蝕性、耐磨性和高溫性能。鎳鋁合金靶材被廣泛應(yīng)用于CD-ROM、裝飾、半導(dǎo)體、顯示器、LED、光伏器件、功能性涂層以及其他光學(xué)信息存儲(chǔ)空間行業(yè),汽車玻璃和建筑玻璃等玻璃涂層行業(yè),以及光通信等領(lǐng)域。

鎳鋁合金靶材


鎳鋁合金靶材特征
鎳鋁合金靶材形狀:平面靶 異型定制
鎳鋁合金靶材純度:2N5,4N
鎳鋁合金靶材尺寸:按圖紙加工或者定制
我們還可以提供鎳鋁合金顆粒、鎳鋁合金粉末,鎳鋁合金棒。

鎳鋁合金靶材制備方法
(1)、將鎳粉和鋁粉按照質(zhì)量比例混合均勻,其中鋁的質(zhì)量百分比為1.8~2.2%,其余為鎳以及不可避免的雜質(zhì)。將全部鋁粉與一部分鎳粉按照質(zhì)量比1:(0.9~1.1)進(jìn)行一次混合得到母粉,再將所述母粉與余量鎳粉進(jìn)行二次混合得到鎳鋁合金粉末;
(2)、將鎳鋁合金粉末裝入模具,采用人工壓柱方式進(jìn)行壓實(shí)處理,保證平面度<1mm,并封口;
(3)、將封口后的模具放入熱壓燒結(jié)爐中,抽真空至100Pa以下,先升溫至550~600℃并保溫0.8~1.2h,然后升溫至900~1000℃并保溫1~1.5h,隨后升溫至1100~1250℃并保溫1~1.5h,后加壓至25~35MPa并保溫保壓1~3h,進(jìn)行熱壓燒結(jié)處理,得到鎳鋁合金濺射靶材粗品;
(4)、將得到的鎳鋁合金濺射靶材粗品進(jìn)行機(jī)加工,得到鎳鋁合金濺射靶材。


鎳鋁合金靶材成分表


上圖是鎳鋁合金靶材的成分分析表


鎳鋁合金靶材應(yīng)用
半導(dǎo)體行業(yè):在半導(dǎo)體設(shè)備制造中,鎳鋁合金靶材被廣泛用于形成各種導(dǎo)電和阻擋層。通過磁控濺射技術(shù),可以在硅片上沉積高質(zhì)量的鎳鋁合金薄膜,從而實(shí)現(xiàn)金屬互連和阻擋層的有效構(gòu)造。
光學(xué)鍍膜:鎳鋁合金靶材在光學(xué)領(lǐng)域用于制造各類反射鏡和光學(xué)濾光片。通過控制濺射參數(shù),可以獲得不同光學(xué)常數(shù)的薄膜,實(shí)現(xiàn)特定的光線反射和透過效果。
平板顯:在平板顯示器制造中,鎳鋁合金靶材用于形成導(dǎo)電層和像素電極。通過濺射技術(shù),實(shí)現(xiàn)高分辨率和高亮度的顯示效果。
太陽能電池:在太陽能電池中,使用鎳鋁合金靶材制備的薄膜作為電極或反光層,可以有效提升電池的光電轉(zhuǎn)換效率。這主要得益于其優(yōu)異的電性能和光熱穩(wěn)定性。

鎳鋁合金應(yīng)用
航空航天:鎳鋁合金,特別是含有鋁和鈦的鎳基高溫合金,如Inconel 718,因其出色的耐高溫和抗腐蝕性能,被廣泛應(yīng)用于航空航天領(lǐng)域,用于制造渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)葉片和盤體,火箭發(fā)動(dòng)機(jī)部件等。
能源產(chǎn)業(yè):在核反應(yīng)堆內(nèi)部結(jié)構(gòu)和高溫高壓下的石油開采設(shè)備中,鎳鋁合金因其優(yōu)異的耐腐蝕性和高溫穩(wěn)定性而得到應(yīng)用。
汽車行業(yè):用于制造高性能的發(fā)動(dòng)機(jī)部件,如渦輪增壓器,這些部件需要在高溫和高壓條件下工作。
化工和石油化工:在反應(yīng)器、換熱器和管道中,特別是在那些需要耐高溫和抗腐蝕的環(huán)境,鎳鋁合金因其良好的耐腐蝕性和高溫性能而得到應(yīng)用


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