鎳釩合金靶材是一種用于濺射鍍膜工藝的材料,它由鎳和釩合金化制成。鎳釩合金靶材因其無磁性特性,特別適合于磁控濺射技術(shù)。通過這種技術(shù),可以一次完成濺射鎳層(粘接層)和釩層(阻擋層),簡(jiǎn)化了制造過程。
鎳釩靶材特征
鎳釩靶材形狀:平面靶、異型定制
鎳釩靶材純度:3N5
鎳釩靶材尺寸:按圖紙加工或其他者定制
我們還可以提供鎳釩合金顆粒、鎳釩合金片,鎳釩合金棒。
鎳釩合金靶材制備工藝
將鎳釩鑄錠進(jìn)行熱鍛造。熱段前保溫溫度為900-1300℃,熱鍛造保溫時(shí)間為1-4h。出爐后將鎳釩鑄錠沿軸向墩粗拔長(zhǎng)3次以上,鍛造完成后空冷;
將鍛造所得鎳釩胚料進(jìn)行退火,退火溫度為800-1000℃,退火時(shí)間為1-2h;
將退火后的鎳釩坯料進(jìn)行軋制變形,總冷變形率為65-90%:冷變形方式包括軋制或墩粗后軋制,其中軋制的道次變形量為7-15%;
將變形后的鎳釩坯料進(jìn)行二次退火,退火溫度為650-950℃,退火時(shí)間為1-3h。
此次制備得到的鎳釩濺射靶材的晶粒度≤150um,晶粒細(xì)小,分布均勻。
上圖是鎳釩合金靶材的成分分析表
鎳釩合金靶材材應(yīng)用
集成電路:在集成電路制作中,鎳釩濺射靶材可一次完成濺射鎳層(粘接層)和釩層(阻擋層)的制備,替代純鎳濺射靶材;
顯示器:可用于平板顯示器鍍膜,提高顯示器的性能;
太陽能行業(yè):應(yīng)用于太陽薄膜電池,有助于提高太陽能電池的效率;
建筑玻璃:用于大型建筑玻璃、汽車玻璃及其他特殊領(lǐng)域玻璃的鍍膜。
鎳釩合金其他應(yīng)用
彈性合金:鎳釩合金因其高彈性而被用于制作彈簧和精密儀器中的彈性元件。
耐熱合金:鎳釩合金具有良好的耐熱性和抗氧化性,適用于制作渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)部件、燃燒室、噴嘴和高溫下使用的其他部件。
制造業(yè):在各種制造業(yè)中,鎳釩合金被用于制作模具和模芯,因?yàn)樗鼈冊(cè)诟邷叵氯阅鼙3指邚?qiáng)度和尺寸穩(wěn)定性。
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