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長沙鑫康新材料有限公司 新聞資訊 行業(yè)資訊 關(guān)于鎳鈦合金靶材性能,制備方法及其應(yīng)用介紹
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關(guān)于鎳鈦合金靶材性能,制備方法及其應(yīng)用介紹

鎳鈦合金靶材是一種由鎳和鈦組成的用于濺射鍍膜的材料,具有形狀記憶合金的特性,能夠在特定溫度下自動恢復(fù)原始形狀。它的伸縮率在20%以上,疲勞壽命達(dá)1*10的7次方,阻尼特性比普通的彈簧高10倍,其耐腐蝕性優(yōu)于目前的醫(yī)用不銹鋼。鎳鈦合金靶材除了具有獨(dú)特的形狀記憶功能外,還具有耐磨損、抗腐蝕、高阻尼和超彈性等優(yōu)異特點(diǎn)。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、信息存儲、顯示器、汽車后視鏡等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。


鎳鈦靶材


鎳鈦靶材特征

鎳鈦靶材形狀:平面靶、異型定制

鎳鈦靶材純度:3N,4N

鎳鈦靶材尺寸:按圖紙加工或其他者定制

我們還可以提供鎳鈦合金顆粒、鎳鈦合金片,鎳鈦合金棒


鎳鈦合金靶材制備工藝

熔煉:首先將金屬鈦和金屬鎳以一定比例混合,在保護(hù)氣氛下進(jìn)行熔煉,得到合金熔體。

澆鑄:將熔煉得到的合金熔體進(jìn)行澆鑄,冷卻后得到鎳鈦合金鑄錠。

鍛造:對鎳鈦合金鑄錠進(jìn)行鍛造,鍛造前通常需要預(yù)熱處理,鍛造的總變形率控制在一定范圍內(nèi),例如70-80%,以消除鑄錠內(nèi)部的組織疏松等鑄造缺陷。

退火:鍛造后的合金材料進(jìn)行一次退火處理,退火溫度和保溫時(shí)間根據(jù)具體要求確定,例如溫度可能在800-950℃,保溫時(shí)間60-120分鐘,以消除鍛造后的內(nèi)部殘余應(yīng)力及組織缺陷。

軋制:一次退火后的合金材料進(jìn)行至少一輪軋制,每輪軋制進(jìn)行多道次,并控制每道次的下壓量,總變形量同樣控制在一定范圍內(nèi),如70-80%,以細(xì)化晶粒并促進(jìn)內(nèi)部組織均勻性。

二次退火:軋制后的合金材料進(jìn)行二次退火,溫度控制在580-600℃,保溫時(shí)間90-150分鐘,然后進(jìn)行水冷,以停止晶粒生長。

機(jī)加工:二次退火和水冷后的合金材料進(jìn)行機(jī)加工,包括車削去除氧化皮和線切割外圓,然后進(jìn)行檢測、清洗、干燥和包裝,終得到鎳鈦合金濺射靶材。



上圖是鎳鈦合金靶材的成分分析表


鎳鈦合金靶材材應(yīng)用

醫(yī)療領(lǐng)域:用于醫(yī)療器械表面涂層,可提高器械的生物相容性和耐腐蝕性,如心血管支架、骨科植入物等。

電子領(lǐng)域:用于半導(dǎo)體制造,在集成電路的制造過程中,用于薄膜沉積,以改善電子元件的性能和可靠性。

航空航天領(lǐng)域:用于航空零部件涂層,增強(qiáng)零部件的耐磨、耐腐蝕和高溫性能。

工業(yè)領(lǐng)域:用于刀具涂層,提高刀具的硬度和耐磨性,延長使用壽命。


鎳鈦合金其他應(yīng)用

醫(yī)療器械:形狀記憶合金在醫(yī)療領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,如用于制造支架、導(dǎo)管、夾子等。

航空航天:鎳鈦合金在航空航天領(lǐng)域中用于制造熱膨脹補(bǔ)償器、天線等,因其在極端溫度下仍能保持性能。

汽車工業(yè):用于制造汽車中的傳感器、連接器、緊固件等,利用其耐腐蝕和形狀記憶特性。

電子和電氣工程:鎳鈦合金用于制造電子設(shè)備的小型化元件,如微電機(jī)、傳感器等。

能源行業(yè):在石油和天然氣行業(yè),鎳鈦合金用于制造井下工具,如封隔器、安全閥等。

建筑和土木工程:用于制造建筑結(jié)構(gòu)中的減震器、連接器等,利用其在地震等情況下的形狀記憶特性。

工業(yè)自動化:在自動化設(shè)備中,鎳鈦合金用于制造驅(qū)動器、執(zhí)行器等。

環(huán)境工程:在環(huán)境工程中,鎳鈦合金用于制造污水處理設(shè)備、過濾系統(tǒng)等。


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