鎳鎢合金濺射靶材由鎳(Ni)和鎢(W)兩種金屬組成,通常以粉末冶金法制備。這種合金結(jié)合了鎳的低電阻系數(shù)和良好的加工性能,以及鎢的高熔點(diǎn)和優(yōu)異的耐腐蝕性能。廣泛應(yīng)用于集成電路和金屬化薄膜的制備中。
鎳鎢合金靶材特征
鎳鎢合金靶材形狀:平面靶 異型定制
鎳鎢合金靶材純度:2N5
鎳鎢合金靶材尺寸:按圖紙加工或者定制
我們還可以提供鎳鎢合金顆粒、鎳鎢合金片,鎳鎢合金棒
一種鎳鎢合金濺射靶材的熱壓制備方法
準(zhǔn)備Ni粉質(zhì)量占比為50%的鎳鎢合金粉,裝入模具并封口;
將封口后的模具進(jìn)行熱壓燒結(jié)處理,得到鎳鎢合金燒結(jié)體;
將封口后的模具放入熱壓燒結(jié)爐中,抽真空至100Pa以下,升溫至1000~1050℃并保溫60~90min,保溫結(jié)束后升溫至1270~1350℃并保溫50~70min,加壓至25~35MPa并始終保持1270~1350℃,控制保溫保壓時(shí)間為60~180min;關(guān)閉所述熱壓燒結(jié)爐并冷卻,然后充入氬氣至真空表示數(shù)為-0.06~-0.08MPa;其中,控制封口后的模具的內(nèi)部壓強(qiáng)<1MPa;
將熱壓燒結(jié)得到的鎳鎢合金燒結(jié)體進(jìn)行機(jī)加工,得到鎳鎢合金濺射靶材。
鎳鎢合金靶材應(yīng)用
半導(dǎo)體行業(yè):在半導(dǎo)體制造過程中,鎳鎢合金靶材常用于形成導(dǎo)電層或作為阻擋層材料,用于制造集成電路和微電子器件。
智能玻璃:鎳鎢合金靶材用于制備電致變色智能玻璃,這種玻璃能夠在電場作用下改變顏色和透明度,廣泛應(yīng)用于建筑智能窗、汽車智能窗以及飛機(jī)窗戶。
裝飾涂層:在裝飾領(lǐng)域,鎳鎢合金靶材可用于形成具有特殊光澤和耐磨性的涂層,用于提升產(chǎn)品外觀和耐用性。
LED和光伏器件:在LED和光伏行業(yè),鎳鎢合金靶材用于制造薄膜太陽能電池和LED照明設(shè)備中的反射層或電極層。
光學(xué)信息存儲(chǔ):在光學(xué)信息存儲(chǔ)領(lǐng)域,鎳鎢合金靶材可用于制造光盤和其他存儲(chǔ)介質(zhì)的反射層。
汽車和建筑玻璃:鎳鎢合金靶材在汽車和建筑玻璃上的應(yīng)用,可以提高玻璃的安全性和節(jié)能效果。
鎳鎢合金應(yīng)用
航空航天領(lǐng)域:鎳鎢合金因其高密度和良好的高溫強(qiáng)度,常用于航空航天工業(yè)中,如制造飛機(jī)和航天器的平衡錘、陀螺儀和高溫部件。
軍事工業(yè):在軍事領(lǐng)域,鎳鎢合金可用于制造穿甲彈和裝甲,因其高密度和硬度,提供了優(yōu)異的穿透力和防護(hù)能力。
電子行業(yè):鎳鎢合金在電子行業(yè)中用作電子設(shè)備的屏蔽材料,以防止電磁干擾。
化工行業(yè):在化工領(lǐng)域,鎳鎢合金可作為催化劑或催化劑載體,用于各種化學(xué)反應(yīng)過程。
醫(yī)療領(lǐng)域:鎳鎢合金在醫(yī)療領(lǐng)域中,可以用于制造放射性治療設(shè)備,如用于癌癥治療的放射源。
能源領(lǐng)域:在能源行業(yè),鎳鎢合金可用于制造核反應(yīng)堆中的控制棒,利用其良好的中子吸收能力。
機(jī)械加工:由于其高硬度和耐磨性,鎳鎢合金可用于制造切削工具、模具和其他機(jī)械加工部件。
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