鐵鎳合金靶材是一種由鐵和鎳兩種金屬組成的靶材材料。通過熱鍛、冷軋、熱處理等工藝制備,這種合金靶材在電子、半導體、磁性材料等領域有著廣泛的應用。鐵鎳合金靶材的主要特點是在弱磁場中具有很高的磁導率,這使得它在許多應用中表現出優(yōu)異的性能。
鐵鎳靶材特征
鐵鎳靶材形狀:平面靶、異型定制
鐵鎳靶材純度:3N,3N5
鐵鎳靶材尺寸:按圖紙加工或其他者定制
我們還可以提供鐵鎳合金顆粒、鐵鎳合金片,鐵鎳合金棒材
鐵鎳合金靶材制備工藝
原料準備:選擇高純度的鐵和鎳作為原料,確??偤看笥?9.99%;
熔煉:將原料鐵和鎳按照預定比例放入真空感應爐中,在高溫下進行熔煉,得到鐵鎳合金熔液。熔煉溫度應高出高熔點原料的熔點50-150℃,熔煉時間為20-40分鐘;
澆鑄:將熔液澆鑄到模具中,澆鑄溫度應高出高熔點原料的熔點50-100℃,澆鑄速度控制在0.5-1.5kg/min。澆鑄后得到鑄錠;
均質化處理:對鑄錠進行均質化處理,以消除成分偏析和鑄造應力。處理溫度一般為800-1000℃,處理時間為2-4小時;
熱軋:將鑄錠進行熱軋,以破碎鑄態(tài)晶粒,提高材料的致密度和均勻性。熱軋溫度一般為800-1000℃,軋制變形量為30%-50%;
冷軋:對熱軋后的材料進行冷軋,進一步細化晶粒,提高材料的強度和硬度。冷軋變形量為10%-30%;
退火:對冷軋后的材料進行退火處理,以消除加工硬化和內應力,改善材料的塑性和韌性。退火溫度一般為600-800℃,退火時間為2-4小時;
機加工:將退火后的材料進行機械加工,制成所需尺寸和形狀的靶材;
質量檢測:對制備好的靶材進行質量檢測,包括化學成分分析、微觀組織觀察、力學性能測試等,確保靶材的質量符合要求。
上圖是鐵鎳合金靶材的成分分析表
鐵鎳合金靶材的應用
電子領域:用于制造集成電路中的薄膜電阻、磁性存儲器件的磁性薄膜等,以改善電子元件的性能和穩(wěn)定性。
半導體行業(yè):在半導體制造過程中,可用于沉積薄膜,起到導電、阻擋、擴散阻擋等作用,有助于提高芯片的性能和可靠性。
磁性材料:制備磁性薄膜,應用于磁傳感器、磁記錄介質等,例如硬盤的磁頭和磁帶。
薄膜太陽能電池:用于制備太陽能電池的導電層,有助于提高電池的光電轉換效率和穩(wěn)定性。
表面涂層:為工件表面提供耐磨、耐腐蝕和裝飾性的涂層,增強其使用壽命和外觀。
鐵鎳合金其他應用
航空航天工業(yè):用于制造航天器、飛機和直升機的高溫部件,如渦輪葉片、燃燒室和噴嘴。
石油化工:用于制造高溫和腐蝕環(huán)境下的設備和零部件,如熱交換器、反應器和管道系統。
汽車工業(yè):用于制造汽車增壓渦輪、排氣系統和高溫傳感器。
玻璃制造:用于制造高溫爐窯和玻璃成型設備。
精密儀器和儀表:用于制造精密測量和控制儀器,如溫度調節(jié)裝置、電磁鏡頭和螺旋連接器襯套。
電子設備:用于制造電子設備中的低溫膨脹元件和磁性元件。
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