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長沙鑫康新材料有限公司 新聞資訊 行業(yè)資訊 關(guān)于硫化鐵靶材性能,制備方法及其應(yīng)用介紹
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關(guān)于硫化鐵靶材性能,制備方法及其應(yīng)用介紹

硫化鐵靶材是一種由鐵和硫組成的硫化物陶瓷材料,被用作濺射源的材料。具體來說,硫化鐵靶材通過利用高能離子轟擊靶材表面,使靶材原子或分子被濺射出并沉積到基板上,形成均勻、緊密的薄膜。這種技術(shù)廣泛應(yīng)用于半導體、光學、光伏和表面處理等領(lǐng)域。


硫化鐵靶材


硫化鐵靶材特征

硫化鐵靶材形狀:平面靶、異型定制

硫化鐵靶材純度:3N

硫化鐵靶材尺寸:按圖紙加工或其他者定制

我們還可以提供硫化鐵顆粒、硫化鐵塊,硫化鐵粉末


硫化鐵靶材制備工藝

原料選擇:選擇高純度的鐵和硫,這是確保靶材純度的關(guān)鍵;

混合:將鐵和硫按一定比例混合,通常這個比例是根據(jù)硫化鐵的化學計量比來確定的;

熔煉:在真空或保護氣氛中進行熔煉,以防止材料氧化。熔煉過程中,鐵和硫會反應(yīng)形成硫化鐵;

鑄錠:將熔融的硫化鐵倒入模具中,冷卻后形成鑄錠;

熱處理:對鑄錠進行熱處理,以改善其微觀結(jié)構(gòu)和物理性能;

機械加工:將熱處理后的鑄錠進行機械加工,制成靶材所需的形狀和尺寸;

清洗和檢驗:對靶材進行清洗,去除表面的雜質(zhì)和氧化層,然后進行質(zhì)量檢驗,包括成分分析、密度測量、微觀結(jié)構(gòu)觀察等,以確保其符合使用要求;

包裝:經(jīng)過檢驗合格的靶材會被包裝,以備運輸和使用。


硫化鐵靶材成分表


上圖是硫化鐵靶材的成分分析表


硫化鐵靶材的應(yīng)用

電子領(lǐng)域:用于制造集成電路中的薄膜電阻、磁性存儲器件的磁性薄膜等,以改善電子元件的性能和穩(wěn)定性。

半導體行業(yè):在半導體制造過程中,可用于沉積薄膜,起到導電、阻擋、擴散阻擋等作用,有助于提高芯片的性能和可靠性。

磁性材料:制備磁性薄膜,應(yīng)用于磁傳感器、磁記錄介質(zhì)等,例如硬盤的磁頭和磁帶。

薄膜太陽能電池:用于制備太陽能電池的導電層,有助于提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性。

表面涂層:為工件表面提供耐磨、耐腐蝕和裝飾性的涂層,增強其使用壽命和外觀。


硫化鐵其他應(yīng)用

航空航天工業(yè):用于制造航天器、飛機和直升機的高溫部件,如渦輪葉片、燃燒室和噴嘴。

石油化工:用于制造高溫和腐蝕環(huán)境下的設(shè)備和零部件,如熱交換器、反應(yīng)器和管道系統(tǒng)。

汽車工業(yè):用于制造汽車增壓渦輪、排氣系統(tǒng)和高溫傳感器。

玻璃制造:用于制造高溫爐窯和玻璃成型設(shè)備。

精密儀器和儀表:用于制造精密測量和控制儀器,如溫度調(diào)節(jié)裝置、電磁鏡頭和螺旋連接器襯套。

電子設(shè)備:用于制造電子設(shè)備中的低溫膨脹元件和磁性元件。


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